भ्याकुम कम्पोनेन्टहरू

गर्मी उपचारमा मुख्यतया अक्सीकरण, प्रसार र एनिलिङ प्रक्रियाहरू समावेश छन्।अक्सिडेशन एक अतिरिक्त प्रक्रिया हो जसमा सिलिकन वेफरहरूलाई उच्च-तापमानको भट्टीमा राखिन्छ र वेफरको सतहमा सिलिका बनाउन तिनीहरूसँग प्रतिक्रिया गर्न अक्सिजन थपिन्छ।प्रसार भनेको आणविक थर्मल आन्दोलनको माध्यमबाट उच्च एकाग्रता क्षेत्रबाट कम एकाग्रता क्षेत्रमा पदार्थहरू सार्नु हो, र प्रसार प्रक्रिया सिलिकन सब्सट्रेटमा विशिष्ट डोपिङ पदार्थहरू डोप गर्न प्रयोग गर्न सकिन्छ, जसले गर्दा अर्धचालकहरूको चालकता परिवर्तन हुन्छ।